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壓縮空氣CDA|壓縮氣體管路P-CDA的質(zhì)量檢測項(xiàng)目
  • 發(fā)布日期:2023-09-25      瀏覽次數(shù):5391
    • 壓縮空氣CDA(Clean Dry Air)在半導(dǎo)體行業(yè)中具有極其重要的地位,在半導(dǎo)體制造過程中,微小的顆粒、水分或油分等污染物質(zhì)都可能導(dǎo)致器件的損壞或制程的不穩(wěn)定。CDA能夠提供高度純凈、干燥的氣體,從而保證了器件的可靠性和穩(wěn)定性。

      壓縮空氣CDA.png


      在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上,CDA不僅用于清洗和沖洗設(shè)備,也用于保持生產(chǎn)環(huán)境的清潔。它可以防止粉塵、微粒和水分進(jìn)入制程中,保證產(chǎn)品的質(zhì)量。

      器件的性能受到環(huán)境中的雜質(zhì)和濕度的影響,因此CDA在半導(dǎo)體制程中是一個至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。它保證了器件特性的可靠性和一致性。

      在半導(dǎo)體制程中,許多工藝需要高溫環(huán)境,同時也需要高純度的氣體來避免器件的氧化和腐蝕。CDA在這方面發(fā)揮了重要的作用。

      CDA的高質(zhì)量保證了生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性,降低了制程中的變異性,從而提高了制程的良率。

      依據(jù) ISO 8573 針對 CDA 中會影響制程良率的各項(xiàng)重要指標(biāo),提供安裝后及使用期間定期檢測之服務(wù)。

      在進(jìn)行壓縮空氣CDA中壓縮氣體管路(P-CDA)的質(zhì)量檢測時,通常需要關(guān)注以下項(xiàng)目:


      壓縮氣體純度:檢測壓縮氣體中是否含有不純物質(zhì),如水分、油分、固體顆粒等。

      壓縮氣體壓力:測量管路中的氣體壓力,確保它在制程中的要求范圍內(nèi)。

      壓縮氣體流量:檢測氣體的流速和流量,以確保它滿足制程的需求。

      管路泄漏檢測:查找和修復(fù)任何潛在的氣體泄漏,以確保沒有未經(jīng)授權(quán)的氣體流失。

      管路材質(zhì)和連接檢查:檢查管路的材質(zhì)和連接部分,確保它們符合標(biāo)準(zhǔn)并不會導(dǎo)致污染或其他問題。

      壓縮氣體干燥度檢測:檢測壓縮氣體中的濕度水平,因?yàn)楦邼穸瓤赡軙χ瞥坍a(chǎn)生不利影響。

      管路清潔度:確保管路內(nèi)部干凈,沒有沉積物或污垢,以防止污染。

      安全性檢查:確保管路系統(tǒng)的所有安全設(shè)備和閥門正常工作,以防止?jié)撛诘奈kU。


      委托專業(yè)的壓縮空氣檢測機(jī)構(gòu)可以確保你的管路系統(tǒng)符合質(zhì)量和安全測試項(xiàng)目:

      油份含量(總碳?xì)浠衔?分析
      微粒子數(shù)分析 (0.1um ~10um )
      水份及露點(diǎn)分析
      微生物污染分析
      CO / CO2 / NOx / SOx / H2S 含量分析

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